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鸿运种类那么多,如何选择才?


发布日期:[2017-10-16] 共阅[1939]次

鸿运种类那么多,如何选择才?

2017-10-11 INFICON手机版

一、皮拉尼鸿运

    

※1皮拉尼鸿运原理

· 加热电阻丝,使之升温至需要的工作温度

· 由于鸿运粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量,电阻丝的温度会发生变化

· 热丝的能量损失与热丝周围的鸿运浓度及鸿运成分成比例关系

     

※2衍生出两种类型的皮拉尼规

1)稳定温度,测量施加的电压变化等效测量真空度(INFICON PSG500

2)稳定电压,测量温度变化等效测量真空度(热偶规)

※3鸿运的热传导,与下列提条件有关

1)鸿运类型

2)压力大小

     

※4皮拉尼鸿运测量范围与精度

测量范围(空气,氧气,一氧化碳,氮气):5 x 10-4 1000 mbar

精度(氮气)

1x 10-3… 100毫巴   ±15%

5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴   ±50%

100 ... 1000毫巴   ±50%

※5皮拉尼鸿运的优特点

灯丝部分在不影响精度与速度的情况下,加以zui大的保护,大大延长了灯丝的使用寿命。

     

※6皮拉尼鸿运具体型号

      

· PSG050/051

· PSG100-S  PSG101-S

· PSG500/500-S PSG502

· 皮拉尼电容膜片复合鸿运PCG400 PCG410 PCG550

1)有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起

2)两种原理的规管全过程都工作

3100 mbar—1000 mbar 使用薄膜规信号

41 mbar– 100mbar 两规信号同时采用

55x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信号

6)输出的真空度信号(电压)连续,无跳跃

※7皮拉尼鸿运应用行业

· 各种高真空泵的前级压力测量,如光伏、镀膜、等离子行业

· 各种中低真空测量,如照明,冶金

· 真空连锁控制,高鸿运的点火开关控制,如PEG100

· PSG050可完全替代TR211PSG051可完全替代TR216

· PCG400 PCG410(现在已升级为PCG550PCG400/PCG410已经停产)与PSG500 基本相同,但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点,而且不受鸿运类型的影响,在真空炉,单晶炉,多晶炉,蓝宝石炉上广泛应用 

· PSG100 PSG101,与PSG500/PSG050基本相同,但以为具有通讯协议功能,在大系统中应用广泛

     

二、电容薄膜规

CDG025D/CDG045/100/160/200

      

※1电容薄膜规工作原理

· 压力使膜片变形,变形量与压力大小成比例关系

      

· 通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度

      

※2电容薄膜规特点

· 以可靠的超纯陶瓷网页版室为基础构成

· 在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度娱乐测量

· 快速的预热和恢复时间,提高生产率

· 的长期稳定性,再现性和重复性

· 由于电子学直接安装在网页版上,改进了温度补偿和EMC兼容性

· 对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定

· 快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态

· 一键按钮调零功能和设点调整

· 抗腐蚀超纯陶瓷网页版

· 能经受数百万次娱乐循环周期,包括大气压冲击,无任何降低性能的迹象

· 暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀

· 对蒸气介质不敏感

· 先进的网页版屏蔽 ()延长鸿运在污染的工艺过程中的使用寿命

※3 INFICON陶瓷技术

· 陶瓷技术的优越性

1)无 “记忆” 效应

2)陶瓷无疲劳问题

3)的温度补偿

4)的零点稳定性

· 低使用成本

1)非凡的使用寿命

2)无需隔离阀

※4 Sky CDG025D测量范围

     

     

※5加热型薄膜规

     

※6加热型优点

· 零飘极小0.1%FS/年(干净真空环境)

· 更高的精度

· 环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响

· 比工艺更快的预热启动时间

· 快速恢复时间 大气压 < 1 min within 5mV

· 任意安装角度

· 抗污染,可有效抵抗工艺鸿运或工艺产生鸿运的腐蚀影响

※7电容薄膜规的应用

要求高的应用条件下,而快速的娱乐测量

· 用于刻蚀,CVDPVDALD半导体设备制造,如太阳能光伏行业的PECVD用的很多,刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多,抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627DINFICONCDG025D比较多,如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS626B13TDE627D01TDC1B,质量手机版用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH41179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3,国内用的好多PECVD设备上用的是INFICONCDG025D

· 资料贮存和显示器制造设备

· 工业真空设备

· 常用高精度真空测量

三、热电离规

※1热电离规原理

Richardson 效应高温灯丝发射电子,高能量电子撞击鸿运分子,鸿运分子的一个或多个电子被撞击出去,形成带正电的离子。

     

1)带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出

2)离子流的大小与鸿运压力成比例关系

※2两种类型热电离规

      

※3热电离型复合规

· HPG400

· BPG400/-SP/-SD/SR

· BPG402

· BCG450 B-A规,皮拉尼规,薄膜规三种型号复合在一起

※4优点及应用

      

· BPG

 测量范围宽,一个规管覆盖13个量程5x10-10–1000 mbar

 精度高,极好的重复性5%

 灯丝材料镀钇的铱丝有极好的抗氧化能力,皮拉尼自锁保护,使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。

 方便的校准调节

 注意事项:

   ◆对鸿运有选择性

   ◆抗污染能力弱

 普遍应用于从低到超高真空的测量

 在工业,半导体,研究行业应用广泛

· BPG402

 双灯丝,大大延长使用寿命

 电离规的工作可以自定义控制

 探头备件自带校准参数,保证精度与重复性

· HPG400

 电离规与皮拉尼的复合

 皮拉尼自锁保护电离规

 电离规的工作启动点可以一定范围内自定义

 简易的校准功能

 相对便宜的价格

· BCG450

 可调的电离规工作起点

 的重复性

 的大气端测量

    

四、冷电离规(潘宁规)

      

※1冷电离规原理

通过鸿运放电方式产生电子,通过磁场使电子获得能量将鸿运分子电离。

     

※2潘宁规特点与应用

· 测量范围:5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar

· 全金属密封

· 无灯丝

· 易清洗

· 应用于普通的高真空测量

※3冷规复合规MPG400特点与应用

     

· 冷规与皮拉尼规的复合

· 测量范围广: 5x10-9-1000 mbar

· 易于保养清洗

· 无高真空灯丝,

· 应用于普通高真空测量

※4 冷规及复合规性能比较

      

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