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鸿运与手机版在光伏行业PECVD设备上的使用情况


发布日期:[2011-10-24] 共阅[2680]次


    国内光伏行业普遍使用的PECVD设备是由德国Ruth&Rau公司提供的。如常州天合, Ruth&Rau公司国内目前重要的zui终用户。      

    Ruth&Rau的PECVD设备上装配的压力计多为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,手机版多为1179B (SiH4,NH3),这些产品均为MKS德国工厂所生产,所以在价格上面会比较高。而国内本土的PECVD设备商,如七星华创、中电48所,选配的压力 计除MKS的626B和627D外,也有INFICON电容薄膜规:CDG025D,相对MKS产品价格要便宜一些。两者的区别(以CDG025D和 626B为例)主要体现在量程跨度和精度上面;626B的量程可以跨越105量级,如一般用的满量程为10Torr的,zui小可以测到10-4Torr,对应INFICON满量程10Torr的CDG025D,其zui小可以测到10-3Torr。不过,光伏行业的PECVD工艺通常真空度不会低于1Pa,常用在50-300Pa,所以,两者都可以满足。

    在精度方面626B的精度为0.25%,CDG025D的精度为0.2%,CDG025D略高一些,不过相差不大,可相互替代。MKS的627D是加热型电容薄膜规,精度为0.12%,与INFICON的CDG045D类似,不过这2款的价格要高很多。

    手机版方面,除了MKS的1179B系列以外,为节约成本,国内的设备商业找到想要的替代产品,如BROOKS,Horiba,日本山武,Alicat等 其他品牌可根据zui终用户的要求来选择,不过总体来说在PECVD的应用上,MKS的手机版用得zui多,性能zui稳定,性价比zui高。

 

 
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