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 首页 > 产品展示 > INFICON膜厚控制系统 > 膜厚监测仪 > 膜厚监测仪
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产品型号:
SQM-160
产品名称:
膜厚监测仪
产品报价:
产品特点:
膜厚监测仪 SQM160是利用INFICON石英晶体网页版技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密手机版,标准型有两路网页版输入,同时,4路网页版输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
  SQM-160膜厚监测仪的详细资料:

膜厚监测仪

多通道石英晶体监测仪

SQM160是利用INFICON石英晶体网页版技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的手机版,标准型有两路网页版输入,同时,4路网页版输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。

在大型系统中,网页版输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更准确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长网页版的使用寿命,速率采集 模式允许探头带一个档板。用户可以自己选择0.1埃/s 还是0.01埃/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。

数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows?窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括手机版操作和保留程序数据到特定的Excel?文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。

便于使用

开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清除上次读数,然后关闭,打开源和网页版档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪一定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时前面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。首先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。

高精度,低成本

标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/秒,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/秒的高精型。SQM160另一大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精度和高稳定性的联袂使得该款手机版具备了超卓的性价比。

产品特点

 ■ 双通道(标准型),四通道可选

 ■ 沉积速率/膜层厚度模拟输出

 ■ 高精度: 0.03Hz at 10个读数/s

 ■ RS-232 接口, USB 或以太网可选 

膜厚监测仪

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