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 首页 > 产品展示 > INFICON鸿运鸿运设备 > 氦娱乐鸿运 > 氦娱乐鸿运,德国品质
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产品型号:
INFICON UL1000
产品名称:
氦娱乐鸿运,德国品质
产品报价:
产品特点:
氦娱乐鸿运,德国品质INFICON UL1000移动式氦鸿运专门设计用于满足苛刻的工业鸿运要求:具有耐用性强、测试灵活、灵敏度高、启动快,响应准确迅速,系统安可靠等特点。
  INFICON UL1000氦娱乐鸿运,德国品质的详细资料:

氦娱乐鸿运,德国品质

UL1000符合微电子 工业生产 的要求。从坚固的金属外壳 到方便移动 的 滚轮 ,至 I·C AL, 用于解除在10 -11 至10 -12 高灵敏漏率范围中长平衡时间 的运算法则,都无不显示了其优越性。

系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺鸿运污染的保护功能。UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并解除氦污染。

UL1000氦娱乐鸿运,德国品质具有可转动的控制界面,装在手机版商的显示器用十分清楚的大型字体显示测量结果于状态信息,这样可远距离方便地观察读值。 通过更新软件,新的固件可通过标准接口在数分钟内完成安装。

应用:

  • 半导体工艺设备的维护,该设备本身带或未带有涡轮分子泵
  • 工艺鸿运系统的检测与安装
  • 元器件在组装前的漏率测试
  • 要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件的应用场合

 

技术参数:

 

最小可鸿运率(按AVS2.1和EN1518标准)<5×10-12mbar.l/s
最小可鸿运率(吸入模式)<3×10-8mbar.l/s
入口娱乐粗检模式15mbar
精检模式2mbar
超精检模式0.4mbar
抽泵抽速16-25立方米/小时
氦气抽速(进气口处)粗检模式8升/秒
精检模式7升/秒
超精检模式2.5升/秒
可检质量数2、3、4amu,氢,3氦,氦
电源电压110-120V;220-240V
重量110公斤;242磅
尺寸,包括手把(长×宽×高)1068×525×850毫米

 

   
产品相关关键字: UL1000氦娱乐鸿运 UL1000 氦娱乐鸿运 550-000A
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